邁克爾遜干涉儀是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。通過調(diào)整該干涉儀，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量，若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條，便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計(jì)量中，如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用。 邁克爾遜干涉儀常見故障及檢修方法：
干涉環(huán)不圓正：
原 因：（1）分光板膜層面反向。
（2）兩組出射光瞳錯(cuò)位。
（3）分光板、補(bǔ)償板、移動(dòng)鏡及參考鏡有壓應(yīng)力。
檢修方法：
分光板膜層應(yīng)是入射光的第二面，如裝在DI一面，則調(diào)出的等傾干圓涉環(huán)是直的橢圓形干涉環(huán)，可旋松分光板的三只寬頭螺釘，取出分光板，反過180°重新裝入金屬框內(nèi)，把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。分光板調(diào)整請參考故障6檢修方法。
讀數(shù)空位大于0.03mm
原 因：（1）傳動(dòng)螺母和絲桿的配合間隙大。
（2）拖板體下面的頂塊間隙偏大。
（3）檔板與導(dǎo)軌配合過松。
檢修方法：
可先調(diào)整頂塊間隙，拖板體在工作狀態(tài)下旋松頂塊螺釘，左手大拇指將拖板體向讀數(shù)頭方向輕推，中指壓緊頂塊，然后固緊頂塊螺釘。如果仍未達(dá)到要求，調(diào)整檔板與導(dǎo)軌的間隙達(dá)0.02mm，再調(diào)節(jié)傳動(dòng)螺母上的兩只螺釘。
轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪時(shí)拖板不走。
原 因：（1）儀器受強(qiáng)烈沖擊后，絲桿向尾架方向脫出，造成讀數(shù)頭嚙合 齒輪錯(cuò)位。
（2）傳動(dòng)小齒輪固緊螺母松動(dòng)，造成傳動(dòng)小齒輪與絲桿打滑。
（3）大齒輪及粗動(dòng)手輪的壓緊螺母松動(dòng)。
檢修方法：
首先檢查粗動(dòng)手輪壓緊螺母，然后檢查精密絲桿是否向尾架方向脫出，如已脫出，可松動(dòng)尾架三只螺釘，一面將絲桿推向讀數(shù)頭，一面慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪，后旋緊尾架三只螺釘，如果是小齒輪固緊螺母和大齒輪固緊螺母松動(dòng)，先拆去傳動(dòng)盒蓋，再拆下門字架，固緊螺母，重新依次裝配即可。
轉(zhuǎn)動(dòng)微動(dòng)手輪時(shí)拖板不走。
原 因：（1）傳動(dòng)小齒輪壓緊螺母松，使盆形彈HUANG片無壓緊力，造成蝸輪空轉(zhuǎn)。
（2）粗微動(dòng)有脫開機(jī)構(gòu)的干涉儀，蝸桿壓緊彈HUANG片失靈。
（3）微動(dòng)手輪壓緊螺母松。
檢修方法：
先檢查微動(dòng)手輪的壓緊螺母。然后打開傳動(dòng)盒蓋，取下門字架，旋緊傳動(dòng)小齒輪壓緊螺母，使盆形彈HUANG片壓緊蝸輪，此時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)蝸輪應(yīng)帶動(dòng)精密絲桿，依次裝好拆下的零件。
轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪時(shí)，等傾干涉環(huán)從中心向外漂移。
原 因：入射的光源不垂直于移動(dòng)鏡。
檢修方法：
此種現(xiàn)象，并非儀器故障，主要是入射的光源不垂直于移動(dòng)鏡，因多數(shù)易誤解為導(dǎo)軌直線性不好所致，故亦在此說明。首先調(diào)整干涉儀三只底腳調(diào)平螺釘，使儀器基本按放水平，然后調(diào)整光源，使擴(kuò)束激光充滿固定鏡，將移動(dòng)鏡調(diào)至零光程附近，轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪調(diào)等傾直條紋，說明擴(kuò)束激光基本垂直于移動(dòng)鏡，此時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪出現(xiàn)的干涉圓環(huán)就不會(huì)漂移。
白光干涉條紋不對稱。
原 因：受運(yùn)輸沖擊或使用過程中碰過分光板和補(bǔ)償板兩板平行度已被破壞。
檢修方法：
調(diào)整分光板與補(bǔ)償板的平行性，在沒有自準(zhǔn)直儀時(shí)，可通過兩板同時(shí)觀察室內(nèi)目標(biāo)物。如日光燈，調(diào)節(jié)兩板上的寬頭螺釘，使雙象基本重合，這時(shí)調(diào)出的白光彩色條紋可達(dá)到基本對稱，如仍有不對稱現(xiàn)象，可調(diào)節(jié)補(bǔ)償板的三只寬頭螺釘達(dá)到*對稱。
波長測定值偏長。
原 因：（1）拖板體測面彈HUANG片壓力太緊。
（2）檔板與導(dǎo)軌配合過緊。
（3）導(dǎo)軌面潤滑油脂太厚。
（4）蝸輪稍有打滑。
（5）絲桿尾架壓緊力偏小。
檢修方法：
先檢查拖板體測面的彈HUANG片是否太緊，如太緊可將彈簧變形減少壓力的辦法解決。第二取下拖板體，檢查開合螺母上的檔板與導(dǎo)軌面的配合是否過緊，如過緊可調(diào)整檔板，旋松兩只螺釘，提高檔板與導(dǎo)軌接觸處墊入0.02mm 厚的錫片，放下檔板，固緊螺釘，拿掉錫片。第三導(dǎo)軌如加上厚的油脂，會(huì)使拖板增加阻尼或厚的油脂上帶有雜質(zhì)，會(huì)使拖板不按導(dǎo)軌直線移動(dòng)。應(yīng)清洗后重新上油。第四檢查尾架內(nèi)的彈簧，如壓緊力偏小，可把滾花螺套旋出，將彈簧拉長即可。
如遇蝸輪稍有打滑，檢修時(shí)必須小心拆裝，先拆下傳動(dòng)盒蓋，拆下門字架，取下小鋼球，旋下小齒輪壓緊螺母，用夾具取下讀數(shù)盤，平面軸承，盆形彈HUANG片、蝸輪等。在汽油中清洗、烘干，重新涂硬性潤滑油脂，重新裝配時(shí)可在平面軸承與讀數(shù)盤之間加0.2mm的金屬墊片，手感磨擦力有所增加后，依次重新裝配，再進(jìn)行測量檢查。
