干涉儀是一種常用的測量儀器，以波長為已知長度，利用邁耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量，被廣泛用于多個行業中。干涉儀是非常精密的檢測儀器，應該了解在日常使用中的基本維護和保養，盡可能的保證干涉儀的測量精度，延長干涉儀的使用壽命。
日常維護
1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內，防止振動，儀器搬動 時，應托住底座，以防導軌變形。
2、光學零件不用時，應存放在清潔的干燥盆內，以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。
3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是導軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應用T5精密儀表油潤滑。
4、使用時，各調整部位用力要適當，不要強旋、硬扳。
5、導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態。
6、 經過精密調整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉動。
注意事項
1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。
2、在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。
3、儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發霉。
4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。
5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。
6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當的調整部件。
7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。
